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    晶圆 氧91短视频免费下载体去胶机NE-Q15FH
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    产品简介

    氧91短视频免费下载体去胶机主要用于对显影后的晶圆进行去胶处理,以清除残留的光刻胶。氧91短视频免费下载体去胶的制程原理是利用被解离的、化学性质活泼的氧离子和主要成分是C和H的光刻胶反应,生成气态的CO2、CO和H2O,然后被真空泵抽走,实现光刻胶的去除,这个工艺通常又被称为灰化工艺。

    采用气体离子化的方式来轰击去除光刻胶,保证了器件的完整性。区别于强酸强碱、高温法,该方法通过精确控制气体流量比例,达到了不损伤电镀金属等集成结构的目的。氧91短视频免费下载体去胶机适用于玻璃、金属种子层、硅片、压电陶瓷等各类衬底,通过氧91短视频免费下载清洗不仅可以去除表面的残胶,还能活化衬底,改善其表面的亲水性能。

    产品参数

    型号NE-PE13FH
    功率0-300W可调
    91短视频免费下载发生器13.56 MHz,自动阻抗匹配 
    腔体材质316 不锈钢
    腔体容积13.5L
    腔体尺寸240(L)*280(D)*200(H)mm
    有效处理面积210(L)×204(D)mm(8寸晶圆及以下)
    处理层数3层
    气体流量控制器MFC质量流量计, 0-300ML
    气路数量2路(可增加)
    极限真空度1PA
    真空测定系统皮拉尼真空硅管 测量范围:1.0×10 5 ~1×10 -1 Pa
    真空泵干泵/油泵(可选)
    控制系统PLC+触摸屏
    电源供应220V
    外形尺寸553mm(L)×553mm(W) ×732 mm(H)


    应用案例

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